檢測(cè)項(xiàng)目（部分）

硬度：硅拋光片的硬度是其在磨削加工中的重要性能之一，需要通過(guò)洛氏硬度計(jì)等方法進(jìn)行檢測(cè)。

粒度分布：硅拋光片所用磨料的粒度大小對(duì)于磨削的效率和質(zhì)量有著重要的影響，需要通過(guò)激光顆粒分析儀等方法進(jìn)行檢測(cè)。

表面質(zhì)量：硅拋光片表面的平整度、光潔度等對(duì)于拋光加工結(jié)果也具有重要影響，需要通過(guò)掃描電鏡等方法進(jìn)行檢測(cè)。

抗磨性：硅拋光片在拋光過(guò)程中需要經(jīng)受高強(qiáng)度的摩擦和磨損，需要通過(guò)試驗(yàn)機(jī)等方法進(jìn)行抗磨性能測(cè)試。

化學(xué)成分：硅拋光片可能會(huì)對(duì)加工物體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)或污染，需要進(jìn)行化學(xué)成分分析，以確保其不會(huì)對(duì)加工物體產(chǎn)生負(fù)面影響。

尺寸精度：硅拋光片的尺寸精度對(duì)于加工精度具有重要影響，需要通過(guò)顯微鏡等方法進(jìn)行檢測(cè)。

檢測(cè)樣品（部分）

噴霧式硅拋光片：將所需顆粒直接噴入拋光液中，通過(guò)氣壓控制拋光液的流量和壓力，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝中，包括晶圓表面平整化和材料去除等。

機(jī)械硅拋光片：在磨料的基礎(chǔ)上添加粘合劑，制成固體硅拋光片，在機(jī)器設(shè)備上進(jìn)行拋光加工，可分為手持式和臺(tái)式兩種。

顆粒大小分類(lèi)硅拋光片：將不同顆粒大小的磨料混合后，按一定比例組成硅拋光片，適用于需要多級(jí)拋光的場(chǎng)合。

涂層硅拋光片：將硅拋光片表面涂覆有機(jī)膠或金屬氧化物等涂層，使其具有更好的磨削效果和抗蝕性能。

超高純硅拋光片：由純度極高的硅材料制造而成，通常作為半導(dǎo)體材料的拋光工具使用。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)（部分）

T/NXCL 017-2022 300 mm重?fù)搅字崩鑶尉伖馄?/p>

T/NXCL 016-2022 200 mm重?fù)戒R直拉硅單晶拋光片

GB/T 41325-2022 集成電路用低密度晶體原生凹坑硅單晶拋光片

YS/T 985-2014 硅拋光回收片

GB/T 19921-2018 硅拋光片表面顆粒測(cè)試方法

GB/T 12964-2018 硅單晶拋光片

T/IAWBS 014-2021 碳化硅單晶拋光片位錯(cuò)密度的測(cè)試方法

GB/T 31351-2014 碳化硅單晶拋光片微管密度無(wú)損檢測(cè)方法

GB/T 30656-2014 碳化硅單晶拋光片

GB/T 29506-2013 300mm 硅單晶拋光片

GB/T 26065-2010 硅單晶拋光試驗(yàn)片規(guī)范

GB/T 6624-2009 硅拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法

GB/T 4058-2009 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗(yàn)方法

T/IAWBS 012-2019 碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量和微管密度測(cè)試方法 ——共焦點(diǎn)微分干涉光學(xué)法

T/IAWBS 010-2019 碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量和微管密度檢測(cè)方法-激光散射檢測(cè)法

T/IAWBS 005-2018 6 英寸碳化硅單晶拋光片

T/ZZB 0648-2018 200 mm重?fù)搅字崩鑶尉伖馄?/p>

SJ 21122-2016 PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅單晶拋光片規(guī)范

SJ/T 11504-2015 碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量的測(cè)試方法

SJ/T 11503-2015 碳化硅單晶拋光片表面粗糙度的測(cè)試方法

檢測(cè)資質(zhì)（部分）

檢測(cè)報(bào)告作用

1.提供產(chǎn)品進(jìn)出口服務(wù)、市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)、產(chǎn)品質(zhì)量認(rèn)證等。

2.用來(lái)證明產(chǎn)品質(zhì)量，展示公司信譽(yù)。

3.為相關(guān)研究論文提供科學(xué)可靠的科研數(shù)據(jù)。

4.找出產(chǎn)品存在的問(wèn)題，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行內(nèi)部控制，提高產(chǎn)品質(zhì)量，降低產(chǎn)品成本。

5.可提供給商品銷(xiāo)售使用，入駐大型超市和各大網(wǎng)絡(luò)電商平臺(tái)。

6.協(xié)助政府單位進(jìn)行工商質(zhì)量檢查和市場(chǎng)監(jiān)管。

7.可用于政府部門(mén)和事業(yè)單位機(jī)構(gòu)的招標(biāo)和投標(biāo)。

檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室（部分）

合作客戶(hù)（部分）

檢測(cè)流程

以上為硅拋光片檢測(cè)的檢測(cè)服務(wù)介紹,如有其他疑問(wèn)可 聯(lián)系在線工程師！